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 - 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
 - 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
 - 其他產(chǎn)品
 
    PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),能夠利用高能量等離子體促進(jìn)反應(yīng)過程,有效提升反應(yīng)速度,降低反應(yīng)溫度。適用于在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
| 
					 產(chǎn)品名稱  | 
				
					 PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)  | 
			|
| 
					 產(chǎn)品型號(hào)  | 
				
					 CY-PECVD-500T-SS  | 
			|
| 
					 供電電源  | 
				
					 AC220V 50Hz  | 
			|
| 
					 射頻電源  | 
				
					 信號(hào)頻率  | 
				
					 13.56MHz  | 
			
| 
					 功率輸出范圍  | 
				
					 0~300W  | 
			|
| 
					 *大反射功率  | 
				
					 100W  | 
			|
| 
					 反射功率 (在*大功率時(shí))  | 
				
					 <5W  | 
			|
| 
					 功率穩(wěn)定性  | 
				
					 ±0.1%  | 
			|
| 
					 工作腔體  | 
				
					 加熱溫度  | 
				
					 RT-400℃  | 
			
| 
					 溫控精度  | 
				
					 ±1℃  | 
			|
| 
					 樣品臺(tái)尺寸  | 
				
					 Φ200mm  | 
			|
| 
					 樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速  | 
				
					 1-20rpm 可調(diào)  | 
			|
| 
					 噴頭尺寸  | 
				
					 Φ200mm  | 
			|
| 
					 距離  | 
				
					 噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續(xù)可調(diào)  | 
			|
| 
					 沉積工作真空  | 
				
					 0. 133- 133Pa (可根據(jù)工藝調(diào)整)  | 
			|
| 
					 法蘭  | 
				
					 上翻蓋設(shè)計(jì),基材易更換,并有可視窗口  | 
			|
| 
					 腔體  | 
				
					 不銹鋼材質(zhì), Φ500mm * 500mm  | 
			|
| 
					 觀察窗  | 
				
					 Φ40mm  | 
			|
| 
					 供氣系統(tǒng)  | 
				
					 通道數(shù)  | 
				
					 定制  | 
			
| 
					 測(cè)量單位  | 
				
					 質(zhì)量流量計(jì)  | 
			|
| 
					 測(cè)量范圍  | 
				
					 A 通道: 0~200SCCM for H2  | 
			|
| 
					 B 通道: 0~200SCCM for CH4  | 
			||
| 
					 C 通道: 0~200SCCM for C2H4  | 
			||
| 
					 D通道: 0~500SCCM for N2  | 
			||
| 
					 E通道: 0~500SCCM for NH3  | 
			||
| 
					 F通道: 0~500SCCM for Ar  | 
			||
| 
					 測(cè)量精度  | 
				
					 ±1.5%F.S  | 
			|
| 
					 工作壓差  | 
				
					 -0.15Mpa~0.15Mpa  | 
			|
| 
					 連接管材質(zhì)  | 
				
					 304 不銹鋼  | 
			|
| 
					 氣路  | 
				
					 304 不銹鋼針閥  | 
			|
| 
					 進(jìn)氣和出氣接口規(guī)格  | 
				
					 1/4" 卡套接頭  | 
			|
| 
					 真空系統(tǒng)  | 
				
					 前級(jí)泵抽速  | 
				
					 4.7L/s  | 
			
| 
					 分子泵抽速  | 
				
					 60L/s  | 
			|
| 
					 真空測(cè)量  | 
				
					 復(fù)合真空計(jì), 范圍10-5Pa ~ 105Pa  | 
			|
| 
					 真空度  | 
				
					 5.0*10-3Pa  | 
			|
| 
					 水冷機(jī)  | 
				
					 冷卻水溫度  | 
				
					 ≦37℃  | 
			
| 
					 水流速  | 
				
					 10L/min  | 
			|
| 
					 功率  | 
				
					 0.1KW  | 
			|
| 
					 冷卻功率  | 
				
					 50W/℃  | 
			|
| 
					 空壓機(jī)  | 
				
					 OTS-550  | 
				
					 
  | 
			
| 
					 產(chǎn)品尺寸  | 
				
					 1362*736*1434  | 
			|
| 
					 產(chǎn)品重量  | 
				
					 280公斤  | 
			|
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            