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 - 實驗室產(chǎn)品配件
 - 實驗室鍍膜耗材
 - 其他產(chǎn)品
 
    卷對卷式PECVD技術(shù)參數(shù):
| 
				 1200℃雙溫區(qū)管式爐  | 
			
				 供電電壓  | 
			
				 AC220V,50Hz  | 
		
| 
				 *大功率  | 
			
				 3KW  | 
		|
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				 加熱溫區(qū)  | 
			
				 雙溫區(qū) 200mm+200mm  | 
		|
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				 工作溫度  | 
			
				 ≤1200℃  | 
		|
| 
				 控溫精度  | 
			
				 ±1℃  | 
		|
| 
				 控溫方式  | 
			
				 AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條  | 
		|
| 
				 爐管材質(zhì)  | 
			
				 高純石英  | 
		|
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				 爐管尺寸  | 
			
				 φ80mm I.D x 1400mm L  | 
		|
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				 密封方式  | 
			
				 不銹鋼真空法蘭  | 
		|
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				 真空測量  | 
			
				 電阻規(guī)  | 
		|
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				 工作氣體  | 
			
				 氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體  | 
		|
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				 真空泵  | 
			
				 雙極旋片式真空泵  | 
		|
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				 極限真空度  | 
			
				 10^-1Pa  | 
		|
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				 三路質(zhì)量流量計  | 
			
				 閥門類型  | 
			
				 不銹鋼針閥  | 
		
| 
				 氣路數(shù)量  | 
			
				 三路  | 
		|
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				 承壓范圍  | 
			
				 0.05~0.3MPa  | 
		|
| 
				 量程  | 
			
				 1~100 SCCM(Ar) 1~200 SCCM(H2) 1~500 SCCM (CH4)  | 
		|
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				 流量控制范圍  | 
			
				 ±1.5%  | 
		|
| 
				 混氣罐容積  | 
			
				 750mL  | 
		|
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				 氣路材料  | 
			
				 304不銹鋼  | 
		|
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				 管道接口  | 
			
				 6.35mm卡套接頭  | 
		|
| 
				 供電電源  | 
			
				 AC220V 50Hz  | 
		|
| 
				 S射頻電源  | 
			
				 輸出功率  | 
			
				 500W  | 
		
| 
				 輸出精度  | 
			
				 ±1%  | 
		|
| 
				 射頻頻率  | 
			
				 13.56MHz  | 
		|
| 
				 射頻穩(wěn)定度  | 
			
				 ±0.005%  | 
		|
| 
				 冷卻方式  | 
			
				 風(fēng)冷  | 
		
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            