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    旋轉(zhuǎn)PECVD
本產(chǎn)品為等離子增強回轉(zhuǎn)化學氣相沉積系統(tǒng)(旋轉(zhuǎn)PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn),使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發(fā)生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產(chǎn)生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質(zhì)量流量計及混氣裝置,可用于向路管內(nèi)通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現(xiàn)多種CVD工藝。旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
技術(shù)參數(shù)
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				 雙溫區(qū)管式爐  | 
			
				 產(chǎn)品型號  | 
			
				 CY-PECVD60R-1200-Q  | 
		
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				 設備功率  | 
			
				 3KW  | 
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				 爐管材質(zhì)  | 
			
				 高純石英  | 
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				 爐管尺寸  | 
			
				 Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)  | 
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				 爐膛長度  | 
			
				 440mm  | 
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				 加熱區(qū)長  | 
			
				 200mm+200mm  | 
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				 工作溫度  | 
			
				 0~1150℃  | 
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				 極限溫度  | 
			
				 1200℃  | 
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				 控溫精度  | 
			
				 ±1℃  | 
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				 熱電偶類型  | 
			
				 K型熱電偶  | 
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				 控溫模式  | 
			
				 30段程序控溫,PID參數(shù)自整定  | 
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				 顯示模式  | 
			
				 高清全彩LCD觸控屏  | 
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				 密封方式  | 
			
				 304不銹鋼真空法蘭  | 
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				 供電電源  | 
			
				 AC:220V 50/60Hz  | 
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				 旋轉(zhuǎn)速度  | 
			
				 0~13rpm  | 
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				 傾斜角度  | 
			
				 0~35°  | 
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				 3路質(zhì)量流量計  | 
			
				 產(chǎn)品型號  | 
			
				 CY-3Z  | 
		
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				 氣路數(shù)量  | 
			
				 3路  | 
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				 流量計類型  | 
			
				 質(zhì)量流量計  | 
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				 測量范圍  | 
			
				 A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm  | 
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				 測量精度  | 
			
				 ±1.5%  | 
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				 工作壓差  | 
			
				 0.1~0.5MPa  | 
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				 管路接口  | 
			
				 1/4英寸卡套接頭  | 
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				 供電  | 
			
				 AC220V 50/60Hz  | 
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				 真空系統(tǒng)  | 
			
				 真空泵  | 
			
				 雙極旋片泵  | 
		
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				 抽速  | 
			
				 1.1L/s  | 
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				 抽氣接口  | 
			
				 KF16  | 
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				 泵極限真空度  | 
			
				 10E-1Pa  | 
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				 供電  | 
			
				 AC220V 50/60Hz  | 
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				 射頻電源  | 
			
				 信號頻率  | 
			
				 13.56MHz±0.005%  | 
		
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				 功率輸出范圍  | 
			
				 0~500W  | 
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				 *大反射功率  | 
			
				 100W  | 
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				 射頻輸出接口  | 
			
				 50Ω,N-Type,female  | 
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				 功率穩(wěn)定度  | 
			
				 ≤5W  | 
		
	
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            