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 - 其他產(chǎn)品
 
    熱蒸發(fā)鍍膜儀的物理過程主要包括材料的蒸發(fā)、氣態(tài)粒子的輸運(yùn)以及在基底上的沉積成膜。在蒸發(fā)過程中,材料需要獲得足夠的熱能以克服分子間的結(jié)合能,從而轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子并從蒸發(fā)源表面逸出 。這些氣態(tài)粒子在輸運(yùn)過程中基本上無碰撞地直線飛行到基底表面,并在那里凝聚形核生長成固相薄膜
本產(chǎn)品為專為高真空設(shè)計(jì)的桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀,可提供*大150A的鍍膜電流,*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作,出廠經(jīng)過除氣處理,配合分子泵組可達(dá)到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境。真空腔體采用前開門開啟方式,便于取放樣,腔體上配置有帶擋板的適應(yīng)觀察窗,用于觀察鍍膜過程,擋板則可以有效防止觀察窗被膜料污染.
蒸發(fā)鍍膜儀產(chǎn)品特點(diǎn):
	高純度薄膜:由于在高真空條件下進(jìn)行,減少了氣體分子與蒸發(fā)材料的碰撞,從而能夠制備出高純度的薄膜。
**控制:蒸發(fā)鍍膜技術(shù)允許對薄膜的厚度、成分和結(jié)構(gòu)進(jìn)行**控制,這在許多高精度應(yīng)用中至關(guān)重要。
適用多種材料:蒸發(fā)鍍膜技術(shù)可以用于多種材料,包括金屬、合金、氧化物、碳化物、氮化物以及有機(jī)材料等。
高沉積速率:特別是使用電子束蒸發(fā)時(shí),由于高能量的電子束能夠快速加熱材料,可以實(shí)現(xiàn)高沉積速率。
均勻性:通過適當(dāng)?shù)墓に噮?shù)調(diào)整,可以在大面積基底上獲得均勻的薄膜。
低損傷:由于加熱主要集中在蒸發(fā)材料上,對基底的熱影響較小,適用于熱敏材料的薄膜沉積。
技術(shù)參數(shù):
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				 產(chǎn)品名稱  | 
			
				 桌面型三源蒸發(fā)鍍膜儀  | 
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				 產(chǎn)品型號  | 
			
				 CY-EVZ254- III-H-SS  | 
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				 真空腔體  | 
			
				 腔體材質(zhì)  | 
			
				 304不銹鋼焊接而成,表面做拋光處理  | 
		
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				 取放模式  | 
			
				 前開門方式取放樣品和蒸鍍材料  | 
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				 觀察窗  | 
			
				 直徑80mm真空窗口,配有磁力擋板,防止污染  | 
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				 樣品臺  | 
			
				 樣品尺寸  | 
			
				 ≦100mm  | 
		
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				 旋轉(zhuǎn)速度  | 
			
				 0-20RPM  | 
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				 加熱溫度  | 
			
				 ≦300℃  | 
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				 蒸發(fā)系統(tǒng)  | 
			
				 蒸發(fā)源  | 
			
				 塢舟3個(gè)  | 
		
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				 鍍膜方式  | 
			
				 熱蒸發(fā)鍍膜  | 
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				 真空系統(tǒng)  | 
			
				 抽氣接口:KF25/40, 排氣接口: KF16  | 
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				 復(fù)合真空計(jì)  | 
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				 前級泵  | 
			
				 旋片泵 抽速: 1.1L/S  | 
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				 分子泵  | 
			
				 抽速: 60L/S (大阪分子泵)  | 
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				 膜厚測量  | 
			
				 通常配CYKY膜厚測量儀  | 
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				 供電電壓  | 
			
				 AC220V,50Hz  | 
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				 整機(jī)功率  | 
			
				 2KW  | 
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				 外形尺寸  | 
			
				 710mm X 480mm X690mm  | 
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				 包裝重量  | 
			
				 70 KG  | 
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