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    近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐,具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部),zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內(nèi)置,精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件,允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。
	
 
	
近距離蒸發(fā)鍍膜爐產(chǎn)品特點(diǎn):
	 1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷裝置上。
 2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片(Φ76mm×0.5mm),使得樣品基片上的溫度更加均勻。
 3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上,用于盛放蒸發(fā)料。
 4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封,通過機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10-2torr,通過分子泵真空度可達(dá)10-5torr。
 5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進(jìn)行上下移動。
 6、一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部,可以準(zhǔn)確測量腔內(nèi)真空度。 
近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)規(guī)格:
	
	 
						產(chǎn)品名稱
					 
						5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
					 
						產(chǎn)品型號
					 
						CY-EVH350JJL-5"-Q
					 
						樣品臺
					 
						外形尺寸
					 
						5"x5"
					 
						轉(zhuǎn)速
					 
						1-20RPM
					 
						可調(diào)溫度
					 
						≦950℃
					 
						熱蒸發(fā)源
					 
						20個紅外燈管作為加熱元件
					 
						真空腔體
					 
						腔體尺寸
					 
						350 mm Dia x 300 mm h
					 
						觀察窗口
					 
						100 mm
					 
						腔體材質(zhì)
					 
						高純石英
					 
						開啟方式
					 
						前開門式
					 
						膜厚測量
					 
						晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀)
					 
						真空系統(tǒng)
					 
						配有一套分子泵系統(tǒng)
					 
						系統(tǒng)真空
					 
						1×10-5Pa
					 
						流量計
					 
						兩路浮子流量計 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m
					 
						工作溫度
					 
						每個加熱器的*高溫度:RT-950℃。
					 
						兩個加熱器之間的*大溫差:<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距:間距 30mm *大。 溫差:315oC @ 僅加熱底部
					 
						溫控系統(tǒng)
					 
						兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個加熱區(qū),可設(shè)置30段升降溫程序 每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
					 
						水    冷
					 
						循環(huán)水冷機(jī)(KJ-5300型,16L/min)
					 
						控制系統(tǒng)
					 
						CYKY自研專業(yè)級控制器
					 
						
					 
						其他參數(shù)
					 
						供電電源
					 
						208V 60HZ  三相
					 
						整機(jī)尺寸
					 
						600mm×650mm×1500mm
					
		
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
		
	
					 
				
					 
			
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