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 - 等離子鍍膜儀
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 - 涂布機(jī)
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 - 多弧離子鍍膜儀
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 - 箱式氣氛爐
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 - 微波燒結(jié)爐
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 - 真空熱壓機(jī)
 - 培育鉆石
 - 二硫化鉬制備
 - 高性能真空泵
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 - 真空法蘭
 - 混料機(jī)設(shè)備
 - UV光固機(jī)
 - 注射泵
 - 氣體分析儀
 - 電池制備
 - 超硬刀具焊接爐
 - 環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備
 - 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
 - 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
 - 其他產(chǎn)品
 
    高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
| 
					 產(chǎn)品名稱  | 
				
					 高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀  | 
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					 產(chǎn)品型號(hào)  | 
				
					 CY-EBH500-SS  | 
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					 樣品臺(tái)  | 
				
					 外形尺寸  | 
				
					 <150mm,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)  | 
			
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					 可調(diào)溫度  | 
				
					 ≦500℃  | 
			|
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					 電子槍  | 
				
					 新型電子槍,6孔坩堝  | 
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					 加熱燈  | 
				
					 4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明  | 
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					 真空腔體  | 
				
					 腔體尺寸  | 
				
					 Φ500*H500mm  | 
			
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					 觀察窗口  | 
				
					 直徑φ100mm  | 
			|
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					 腔體材質(zhì)  | 
				
					 304不銹鋼  | 
			|
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					 開(kāi)啟方式  | 
				
					 前開(kāi)門式  | 
			|
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					 膜厚測(cè)量  | 
				
					 采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)控,涂層厚度不均勻度小于6%。  | 
			|
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					 真空系統(tǒng)  | 
				
					 前級(jí)泵  | 
				
					 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S  | 
			
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					 次級(jí)泵  | 
				
					 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S  | 
			|
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					 真空測(cè)量  | 
				
					 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī))  | 
			|
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					 系統(tǒng)真空  | 
				
					 5×10-5Pa  | 
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					 水冷系統(tǒng)  | 
				
					 水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測(cè)  | 
			|
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					 加熱燈  | 
				
					 4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明  | 
			|
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					 電極接口  | 
				
					 帶2路金屬蒸發(fā)電極接口  | 
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					 控制系統(tǒng)  | 
				
					 CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器  | 
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					 其他參數(shù)  | 
				
					 供電電源  | 
				
					 AC380V,50Hz  | 
			
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					 整機(jī)尺寸  | 
				
					 1000mm×800mm×1500mm  | 
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					 整機(jī)功率  | 
				
					 20KW  | 
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					 整機(jī)重量  | 
				
					 350kg  | 
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