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 - 其他產(chǎn)品
 
    
	本設(shè)備為多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計,腔體空間大,可拓展性強(qiáng),能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺,可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉(zhuǎn)、加熱及升降,所有操作均通過觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級式真空系統(tǒng),由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無油的高真空的環(huán)境;真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動閥系統(tǒng),用戶可通過觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、完全停機(jī)等操作。
本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可*大支持300A的大電流,加熱溫度*高可達(dá)1800℃,可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計,腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計,真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨(dú)立操作,在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計完善性能優(yōu)越,是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選
技術(shù)參數(shù):
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					 多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀  | 
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					 樣品臺  | 
				
					 尺寸  | 
				
					 φ150mm樣品  | 
			
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					 高度  | 
				
					 上下150mm可調(diào)  | 
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					 蒸發(fā)源  | 
				
					 數(shù)量  | 
				
					 鎢舟x2  | 
			
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					 真空腔體 
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					 腔體尺寸  | 
				
					 φ500x700mm  | 
			
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					 觀察窗口  | 
				
					 前置φ100mm含遮光片  | 
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					 腔體材料  | 
				
					 304不銹鋼  | 
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					 開啟方式  | 
				
					 前開門式  | 
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					 膜厚控制  | 
				
					 晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀  | 
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					 真空系統(tǒng) 
 
 
 
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					 前級泵  | 
				
					 雙極旋片泵  | 
			
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					 抽氣接口  | 
				
					 KF16  | 
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					 次級泵  | 
				
					 渦輪分子泵  | 
			|
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					 抽氣接口  | 
				
					 ISO160  | 
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					 真空測量  | 
				
					 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)  | 
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					 排氣速率  | 
				
					 機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s  | 
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					 極限真空  | 
				
					 1.0E-5Pa  | 
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					 供電電源  | 
				
					 AC 220V 50/60Hz  | 
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					 抽氣速率  | 
				
					 旋片泵:1.1L/S  | 
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					 流量計  | 
				
					 可選一路質(zhì)量流量計 500sccm Ar氣  | 
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					 控制系統(tǒng)  | 
				
					 PLC自動控制 操作界面:觸控屏+操作面板  | 
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 其他 
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					 供電電壓  | 
				
					 AC220V,50Hz  | 
			
| 
					 整機(jī)尺寸  | 
				
					 1200mm X 900mm X 1500mm  | 
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					 整機(jī)重量  | 
				
					 500kg  | 
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					 整機(jī)功率  | 
				
					 5kW  | 
			|
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            