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等離子清洗機(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機除了具有清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,在清洗過程中,小型等離子清洗機的輝光放電可以加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
這款等離子清洗機適合于實驗室和小型生產(chǎn)。采用13.56Mhz的射頻電源,能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規(guī)格可供選配,能夠滿足用戶的多樣化需求。
技術(shù)參數(shù):
	
| 
				 主要部件  | 
			
				 指標名稱  | 
			
				 參數(shù)指標  | 
		
| 
				 清洗倉體  | 
			
				 清洗倉材質(zhì)  | 
			
				 不銹鋼  | 
		
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				 清洗倉尺寸  | 
			
				 195mm x 300mm x240mm  | 
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				 射頻電源  | 
			
				 電源特性  | 
			
				 該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。  | 
		
| 
				 電源優(yōu)勢  | 
			
				 
					●可長時間正常運行 
					● 電源效率高、發(fā)熱少  | 
		|
| 
				 射頻功率  | 
			
				 0~500W連續(xù)可調(diào)  | 
		|
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				 信號頻率  | 
			
				 13.56MHz ±0.005%  | 
		|
| 
				 反射功率  | 
			
				 ≤100W  | 
		|
| 
				 功率穩(wěn)定度  | 
			
				 ±0.1%  | 
		|
| 
				 射頻接頭  | 
			
				 N型頭  | 
		|
| 
				 整機效率  | 
			
				 ≥75%  | 
		|
| 
				 諧波分量  | 
			
				 ≤-50 dBc  | 
		|
| 
				 冷卻方式  | 
			
				 強制風冷  | 
		|
| 
				 氣體測量  | 
			
				 測量部件  | 
			
				 浮子流量計  | 
		
| 
				 氣體通道  | 
			
				 兩通道  | 
		|
| 
				 A通道量程  | 
			
				 10~100ml  | 
		|
| 
				 B通道量程  | 
			
				 16~160ml  | 
		|
| 
				 真空獲取  | 
			
				 真空測量  | 
			
				 數(shù)字真空計(電阻規(guī))  | 
		
| 
				 真空抽取  | 
			
				 分子泵組  | 
		|
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				 抽氣速率  | 
			
				 旋片泵1.1L/s 分子泵600L/s  | 
		|
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				 極限真空  | 
			
				 1.0E-4Pa  | 
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				 管道接口  | 
			
				 進氣口:φ8快擰接頭; 抽氣口KF40/KF16  | 
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| 
				 連接管道  | 
			
				 KF40真空波紋管  | 
		|
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				 電機功率  | 
			
				 400W/1.5KW  | 
		|
| 
				 其它  | 
			
				 供電電源  | 
			
				 AC220V 50/60Hz  | 
		
| 
				 整機功率  | 
			
				 1000W  | 
		|
| 
				 使用溫度  | 
			
				 -10℃ -- 40℃  | 
		|
| 
				 工作真空  | 
			
				 ≤40Pa  | 
		|
| 
				 整機尺寸  | 
			
				 650mmX650mmX550mm  | 
		|
| 
				 整機重量  | 
			
				 90kg  | 
		
	
 
應(yīng)用領(lǐng)域:
	金屬:去除金屬表面的油脂,油污等有機物及氧化層;
汽車制造:用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理;
紡織品生產(chǎn):用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理;
生物醫(yī)療:培養(yǎng)皿提高活性,血管支架,注射器,導(dǎo)管和各種材料的親潤,交合涂覆前處理;
航空航天:絕緣材料,電子元件等表面涂覆前處理;
電子:線路板的清洗和蝕刻。膠片,PP等材料的無氧化和活化處理,改進可焊性;
半導(dǎo)體行業(yè):晶圓加工及處理去除光刻膠,封裝前預(yù)處理;
LED:支架清洗封裝前預(yù)處理;
塑料橡膠:提高PS,PE,PTFE,TPE,POM,AS和PP等材料表面活性,使其利于粘接,印刷。 
	
 
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