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擺臂勻膠機(jī)主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，該工藝在材料研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。儀器采用先進(jìn)的精密電機(jī)，轉(zhuǎn)速能達(dá)到10000轉(zhuǎn)/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品帶有擺臂，可通過(guò)擺臂和蠕動(dòng)泵的結(jié)合實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)或全自動(dòng)涂膠。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預(yù)設(shè)勻膠曲線，大大簡(jiǎn)化了使用過(guò)程降低了學(xué)習(xí)成本，十分適合實(shí)驗(yàn)室選購(gòu)。
本儀器采用控制器和主機(jī)分體式，主機(jī)在手套箱內(nèi)，控制器外手套箱外，能防止化學(xué)藥品對(duì)屏幕的腐蝕.
技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱(chēng) |
擺臂勻膠機(jī) |
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-SPC8-BB-PP |
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*大轉(zhuǎn)速 |
10000 RPM |
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轉(zhuǎn)速分辨率 |
1 RPM |
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*大旋轉(zhuǎn)時(shí)間 |
3000 S |
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旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率 |
1 S |
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*大加速度 |
5000RPM/S |
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液體分配 |
3個(gè)蠕動(dòng)泵 流量范圍0.008ml/min-83.5ml/min |
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擺臂轉(zhuǎn)速 |
0-30°/S |
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腔體尺寸 |
內(nèi)徑260mm |
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尺寸 |
310mm(W)x400mm(D)x250mm(H) |
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重量 |
20kg |
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電源輸入 |
AC220V 50/60Hz |
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抽氣速率 |
50L/min |
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真空接口 |
Φ6mm快擰接口 |
