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    粉末磁控濺射鍍膜儀是一種用于在基材表面沉積薄膜的設(shè)備,利用磁控濺射技術(shù)將粉末狀的靶材轉(zhuǎn)化為薄膜覆蓋在基材上。以下是其工作原理和用途的詳細(xì)說明。
粉末磁控濺射鍍膜儀的工作原理主要基于磁控濺射技術(shù)。具體步驟如下:
靶材準(zhǔn)備:
靶材以粉末形式存在,通常由金屬、合金、陶瓷等材料制成。這些粉末靶材裝入靶臺(tái),作為濺射源。
真空環(huán)境:
鍍膜過程在真空室內(nèi)進(jìn)行,以減少氣體分子對濺射粒子的干擾,確保沉積過程的穩(wěn)定性和薄膜的質(zhì)量。
等離子體的產(chǎn)生:
在真空室內(nèi)引入惰性氣體(如氬氣),并施加高壓電場,產(chǎn)生等離子體。等離子體中的高能離子(如氬離子)在電場作用下加速并轟擊靶材表面。
濺射過程:
高能氬離子轟擊粉末靶材表面,導(dǎo)致靶材原子或分子從表面濺射出來。這些濺射出的粒子在真空中自由移動(dòng),并*終沉積到基材表面,形成均勻的薄膜。
磁控增強(qiáng):
磁控裝置產(chǎn)生的磁場與電場共同作用,使電子在靶材表面附近形成旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),這大大增加了靶材表面的離子轟擊密度,提高了濺射效率。
薄膜形成:
濺射出的靶材粒子在基材表面沉積,逐漸形成所需的薄膜。通過控制濺射時(shí)間、靶材粉末的種類和濃度,可以調(diào)控薄膜的厚度和成分。
粉末磁控濺射鍍膜儀廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制造:用于沉積各種功能薄膜,如導(dǎo)電層、絕緣層、阻擋層等,是半導(dǎo)體器件制造中關(guān)鍵的工藝步驟。
光學(xué)器件:在光學(xué)元件上鍍膜,形成抗反射層、濾光層或反射層,改善光學(xué)性能。
防護(hù)涂層:在工具或機(jī)械部件上沉積耐磨涂層,增加表面硬度和抗腐蝕性能,延長使用壽命。
裝飾性鍍膜:用于裝飾性涂層的沉積,改變物體表面的顏色、光澤或質(zhì)感,廣泛應(yīng)用于珠寶、手表等領(lǐng)域。
能源領(lǐng)域:用于制造太陽能電池中的透明導(dǎo)電氧化物(如ITO)薄膜,以及在儲(chǔ)能設(shè)備中沉積功能層。
生物醫(yī)學(xué)器件:應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)器件表面的功能化處理,如在植入物上沉積**涂層或生物相容性涂層。
粉末磁控濺射鍍膜儀的優(yōu)勢在于其對多種材料的兼容性以及能夠控制薄膜的均勻性和成分,使其成為工業(yè)和科研領(lǐng)域中不可或缺的工具。
	
 
磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
| 
				 產(chǎn)品名稱  | 
			
				 粉末磁控濺射鍍膜儀  | 
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| 
				 產(chǎn)品型號  | 
			
				 CY-MSH325-II-DCRF-SS-ZD  | 
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| 
				 供電電壓  | 
			
				 AC220V,50Hz  | 
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| 
				 整機(jī)功率  | 
			
				 6KW  | 
		|
| 
				 系統(tǒng)真空  | 
			
				 ≦5×10-4Pa  | 
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| 
				 樣品臺(tái)  | 
			
				 外形尺寸  | 
			
				 φ150mm 振動(dòng)頻率20Hz-20KHz  | 
		
| 
				 磁控靶槍  | 
			
				 靶材尺寸  | 
			
				 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm  | 
		
| 
				 冷卻模式  | 
			
				 循環(huán)水冷  | 
		|
| 
				 水流大小  | 
			
				 不小于10L/Min  | 
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| 
				 數(shù)量  | 
			
				 2  | 
		|
| 
				 真空腔體  | 
			
				 腔體尺寸  | 
			
				 直徑φ325mm  | 
		
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				 腔體材質(zhì)  | 
			
				 SUU304不銹鋼  | 
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				 觀察窗口  | 
			
				 直徑φ100mm  | 
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				 開啟方式  | 
			
				 頂開式  | 
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				 氣體控制  | 
			
				 1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM  | 
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				 真空系統(tǒng)  | 
			
				 配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S  | 
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| 
				 膜厚測量  | 
			
				 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?  | 
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| 
				 濺射電源  | 
			
				 配直流電源,功率500W 射頻電源500W  | 
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				 控制系統(tǒng)  | 
			
				 CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)  | 
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				 設(shè)備尺寸  | 
			
				 570mm×1040mm×1700mm  | 
		|
| 
				 設(shè)備重量  | 
			
				 350kg  | 
		|
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            