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 - 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
 - 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
 - 其他產(chǎn)品
 
    
	 本設(shè)備為桌面型行星式單靶磁控鍍膜儀,腔體下半部為不銹鋼機(jī)構(gòu),上部為高純石英,兼顧了真空性能和容納復(fù)雜樣品臺(tái)的功能型。設(shè)備外形為桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,可用于金屬及其他導(dǎo)電材料的濺射。設(shè)備真空系統(tǒng)采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優(yōu)異。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類(lèi)鍍膜試驗(yàn)。
行星式單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
| 
					 產(chǎn)品名稱(chēng)  | 
				
					 行星式單靶磁控鍍膜儀  | 
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					 產(chǎn)品型號(hào)  | 
				
					 CY-MSZ180-50X-I-DC-Q  | 
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					 樣品臺(tái)  | 
				
					 外形尺寸  | 
				
					 φ50mm  | 
			
| 
					 加熱溫度  | 
				
					 ≦500℃  | 
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					 可調(diào)轉(zhuǎn)速  | 
				
					 ≦20rpm  | 
			|
| 
					 磁控靶槍  | 
				
					 配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm  | 
			|
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					 真空腔體  | 
				
					 腔體尺寸  | 
				
					 φ180mm X100mm  | 
			
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					 觀察窗口  | 
				
					 全向透明  | 
			|
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					 腔體材料  | 
				
					 高純石英  | 
			|
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					 開(kāi)啟方式  | 
				
					 上蓋拆卸式  | 
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					 真空系統(tǒng)  | 
				
					 前級(jí)泵  | 
				
					 低噪音雙極旋片泵  | 
			
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					 分子泵  | 
				
					 低噪音大抽速渦輪分子泵  | 
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					 真空測(cè)量  | 
				
					 復(fù)合真空計(jì),量程:10-5~105Pa  | 
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					 抽氣接口  | 
				
					 KF16  | 
			|
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					 抽氣接口  | 
				
					 KF40  | 
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					 排氣接口  | 
				
					 KF16  | 
			|
| 
					 系統(tǒng)真空  | 
				
					 1.0×10-4Pa  | 
			|
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					 供電電源  | 
				
					 AC 220V 50/60Hz  | 
			|
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					 抽氣速率  | 
				
					 分子泵抽速600L/s,前級(jí)泵抽速1.1L/s  | 
			|
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					 電源配置  | 
				
					 電源數(shù)量  | 
				
					 直流電源一套  | 
			
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					 輸出功率  | 
				
					 500W  | 
			|
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 其他參數(shù)  | 
				
					 供電電壓  | 
				
					 AC220V,50Hz  | 
			
| 
					 整機(jī)功率  | 
				
					 2kW  | 
			|
| 
					 整機(jī)尺寸  | 
				
					 550mm X 350mm X400mm  | 
			|
	
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            